1、测量模型
触针式粗糙度仪示值误差的测量模型为:

$$\Delta R_{a}=\overline{R_{i}}-R_{a_{0}}$$

(1)
式中:
     $\Delta R_{a}$——仪器示值误差,$\mu m$;
     $\overline{R_{i}}$——仪器读数平均值,$\mu m$;
     $R_{a_{0}}$——标准多刻线样板的标准值,$\mu m$。
2、不确定度来源与分析
2.1、仪器数字分辨力引入的不确定度分量$u_{10}$
仪器$R_{a}$示值的数字分辨力$\omega$为 $\mu m$。 引入的不确定度分量为:
$u_{10}=$$\mu m$
2.2、仪器测量重复性引入的不确定度分量$u_{11}$
实测获得一组数据如下表所示:

表1:实测记录

测量条件 取样长度/mm 评定长度/mm 标准样板$R_{a_{0}}/\mu m$
位置(m) 1 2 3
序号(n) 1 2 3 1 2 3 1 2 3
$R_{a}/\mu m$
平均值$\overline{R_{a}}/\mu m$
平均值标准差$s/\mu m$
标准不确定度$u_{11}/\mu m$
仪器测量重复性引入的不确定度分量$u_{11}$可由下式计算:

$$u_{11}=s_{p}/\sqrt{n}=\sqrt{\frac{1}{m(n-1)}\sum_{j=1}^{m}\sum_{i=1}^{n}\left ( x_{ij}-\overline{x_{j}} \right )^{2}}/\sqrt{n}$$

(1)
 式中:
     $x_{ij}$——第$j$个位置的第$i$个测得值,$\mu m$;
     $\overline{x_{j}}$——第$j$个位置测得值的平均值,$\mu m$;
     $m$——位置数;
     $n$——给定位置的测量次数。
取$u_{10}$、$u_{11}$中较大者有:
$u_{1}=$$\mu m$
2.3、由标准多刻线样板测量误差引入的不确定度分量$u_{2}$
标准多刻线样板的标准值为$nm$, 测量误差引入的不确定度分量可根据相关技术资料或校准证书给出的扩展不确定度来计算。本次评定根据校准证书$U=$ $nm+$ $\times$ $\mu m=$ $\mu m$, K=2,所以有:
$u_{2}=$$\mu m$
3、不确定度分量表

2:标准不确定度分量表

不确定度来源 标准不确定度$$u_{i}$$ $$\mu m$$ 灵敏度系数$$\left |c_{i} \right |$$ $$c_{i} \cdot u_{i}/\mu m$$
仪器测量重复性 $u_{1}$ $\left |c_{1} \right |$  
标准多刻线样板测量误差 $u_{2}$   $\left |c_{2} \right |$

4、合成不确定度

5、扩展不确定度

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